VOCs

无锡半导体有机废气治理项目顺利竣工并通过验收

2020-12-21 17:41:04 可迪尔

现如今半导体行业的发展迅速,半导体行业给社会带来的经济效益及就业率是有目共睹的,伴随着半导体元件的生产,废气污染也随之而来。在半导体行业中造成环境污染的有机废气,主要来源于‌‌芯片或者是线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程。

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如未经处理直接排放会影响周围环境,同时对人体的危害也是极为严重,所以越来越多的企业都注重环保意识,必须进行废气处理后才能排入大气之中。目前国家加大对环境的保护力度,对企业的废气处理要求也越来越严格。

近日,由可迪尔承接的无锡某半导体有机废气治理项目顺利竣工并通过验收。

项目背景:

本项目位于江苏省无锡,业主是一家从事微电子业务,及芯片设计、晶圆制造、封装测试等全产业链一体化运营能力的半导体企业。在进行生产时会产生大量的有机废气,包含异丙醇(IPA)、丙酮Acetone、PGMEA、PGME、MEA、DMSO等成分,处理风量共160,000 m3/h,废气浓度为100mg/m3

单一的活性炭吸附工艺已无法满足环保部门对有机废气双 90(处理效率、收集效率)的要求,为了积极响应政府对环境保护的号召,同时也为了更好的履行社会责任,实现改善创造良好环境,业主进行有机废气处理工艺的升级改造。

设计方案:

治理工艺:可迪尔沸石转轮浓缩+催化氧化 (CO)

浓缩倍数:25倍

方案:

Fab内制程设备产生的废气在主工艺风机抽吸的作用下,经前处理进入沸石转轮进行吸附浓缩,废气中的VOCs物质被吸附到沸石上,净化后气体达标排放。抽取部分排放气经过换热器升温至180℃后,送往转轮的脱附区,大量的VOCs被解吸出来,进入CO炉被加热到300℃以上进行催化氧化处理,氧化成为CO2和H2O,达标后通过烟囱排放至大气中。

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优势:

本筒式转轮选用东洋纺的沸石模块,沸石含有率≥75%,净化效率高达97%,不需要冷却段。筒式转轮的结构优点为:

1.易于处理大风量废气;

2.沸石含有率高,高浓缩倍率;

3.安装及维护简单,不需吊装机械;

4.单一沸石模块重量6~13公斤,尺寸轻巧,安装方便。

可迪尔空气技术(北京)有限公司

Calidaddelaire(以下称可迪尔)是由西班牙Herver-9集团创建的品牌,总部位于西班牙马德里,一直专注于为全世界提供先进的空气清洁技术和产品服务,力求尊重自然环境,回归自然环境,有效执行节能减排,减少对环境的污染和冲击。

在过去的38年里,Herver-9集团不断推陈出新,使得其品牌长久不衰,迄今,已形成企业独有的核心竞争优势。其产品广泛应用于欧美的工业厂房等处。随着中国对环境保护要求的提高,Herver-9集团看好中国市场,2014年进入中国,并在中国开展了研发、生产、销售和售后服务等业务。可迪尔愿意把其专业的产品和技术带入中国,给中国带来最专业的工业废气解决方案。


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