本篇是此系列博文的最后一篇了，也是最难解释和理解的一篇。如果我讲的不清楚，还希望各位来电话或邮件，共同探讨。
前期给大家介绍了影响气体传感器读数的因素：气体浓度、平衡气（背景气）、环境温度、环境湿度、气体压强、气体流量和传感器寿命，今天为大家介绍最后一个因素——交叉灵敏度，详情如下：
交叉灵敏度
气体传感器和其它物理传感器不同，它除了能够测量被测气体，还会对其它类别的气体产生反应，简称“交叉干扰”，其交叉反应的程度的量化参数叫做“交叉灵敏度”。不同种类传感器的交叉干扰的原理是不同的，但是，交叉干扰的现象是不可避免的，只是大小程度不同而已。
不同传感器的交叉干扰的原理如何？
催化燃烧传感器(LEL)：LEL传感器的交叉响应来自于催化剂。LEL传感器的催化剂是金属钯，或是其它贵金属。LEL传感器的被测气体基本上为甲烷CH4，也有专为乙炔C2H2而设计的LEL传感器。但是只要是可燃气体，LEL传感器都有响应，以City公司的催化燃烧传感器CAT-16为例，其交叉灵敏度的数据请见下表。
电化学传感器(EC):EC传感器的交叉响应来自于催化剂。EC传感器的催化剂多为铂、金、铱等贵重金属。当这些贵金属的粒度达到μm以下级别时，它就能在常温时催化氧化一些气态物质，并且其本身质量并不会发生改变。但不足的是，每种金属所能催化的气体不是单一的，例如铂能催化CO，也能催化H2S、C2H4、乙醇等。这就给气体分析造成了不便，使得我们不知道被测气体是哪一种，只知道传感器有电流输出。以下是CO传感器4CM的交叉干扰系数表。
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非色散红外传感器(NDIR):NDIR传感器的交叉干扰相对其它气体传感器较小。那是因为不同的气体在红外波段的吸收波长不同，例如CH4是3.3μm，CO2是4.25μm，CO是4.6μm……。大家可能比较容易忽视的是水H2O的红外吸收波段，它和CH4有重叠的部分，导致空气中湿度比较大的时候，NDIRCH4传感器的读数会偏高。
光离子化传感器(PID):PID和NDIR传感器恰恰相反，只要是能够被紫外灯发出的UV光电离的气体，PID都能检测，PID几乎不能区分气种。HC气体分子越大，电离能越低，分子中不饱和CC键越多，电离能越低，越容易电离和检测。因此，在PID的应用中，需要知道被测气体的名称，才能从PID的交叉灵敏度表格中去查询，否则读数也是不准确的。和NDIR不同，被测气体湿度高(即水蒸气浓度高)，用PID测得的读数会偏低。
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金属氧化物半导体传感器(MOS):MOS传感器的交叉干扰来自两个方面：PN结和催化剂。很早人们就发现硅片上的PN结的电阻对温度、湿度和环境空气是敏感的。后来人们为了放大该敏感度，就在PN结上涂上了对可燃气敏感的催化剂，并加热之，这样就构成了MOS传感器。MOS也不具有气体选择性，从市面上的传感器技术资料看来，凡是可燃气，MOS都是有响应的，如下图。
如何消除交叉干扰？
催化燃烧传感器(LEL)：很难消除。一般说来，LEL传感器对可燃气都有响应，这种响应是叠加的。只有一种可以实现，那就是去除分子比较大的HC类气体，用分子筛的过滤器来去除，其副作用是造成传感器响应时间的延长。
电化学传感器(EC):首先要知道被测气体的种类，然后在传感器的交叉灵敏度表格中查到交叉干扰的系数。如果查不到，就需要找传感器的供应商技术支持工程师咨询。最好的消除交叉干扰的办法是过滤其他气体，例如，CO传感器内部会加入能够过滤掉H2S,NO和NO2的过滤器。当然，这种过滤器也是化学物质，是消耗型的，有寿命的。而且，化学过滤器也不能过滤掉所有干扰气体。如果几种被测气体是混在一起的，都要测出浓度，而且，EC传感器对它们的交叉灵敏度又都不为零，那就需要用联立多元一次方程组的办法来解决了。此办法在烟气分析的仪器中是标准算法。
非色散红外传感器(NDIR):几乎不需要消除交叉干扰，因为不同气体的红外吸收波长是不一样的。唯一比较特别的是，水蒸气对HC类气体检测的干扰。根据个人经验，在40℃，90%RH的条件下，NDIRCH4传感器的读数会比真值高1500PPM以上。在这种情况下，如果需要提高测量精读，就需要用制冷除水法或用Nafion管除水法将大量的水蒸气去除。红外CH4传感器对HC类的气体都是有交叉响应的，因为CH4传感器实际上测量的是H-C键的浓度，所以只要有H-C键的气体，红外CH4传感器实际上都能测量。
光离子化传感器(PID):基本上无法消除。因为PID是用来测量可挥发有机物(VOC)的，而通常VOC的分子都比较大，例如碳链长度≥4。如果用分子筛或者活性炭过滤，VOC就都被吸附了，无法到达传感器，也就测不出VOC浓度。但是，用活性炭过滤气体，对PID来说有另外一个好处，就是可以用活性炭过滤过的空气来标定零点。
金属氧化物半导体传感器(MOS):基本上无法消除。MOS是用来测量PPM级别的CH4、CO、H2、HC类有机气体的，即使没有催化剂的存在，PN结的电阻也会随着以上气体的浓度而发生改变，因此无法区分。如果一定要消除交叉干扰，也这只能采用过滤的方法来操作，利用分子筛过滤器。
本专题完！
延伸阅读：
原标题：哪些因素会影响气体传感器的读数(八)——大结局
