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成功改变了陶瓷的表面电性及热态下体系内部的电子迁移变化模式,从而使本发明的蓄热陶瓷材料能够有效地防止sio2结晶在陶瓷表面生长,延长了陶瓷填料和陶瓷床设备的使用寿命,解决了蓄热式热氧化法(rto)不能处理有机硅气体的世界性技术难题
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