芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议

摘要：沸石分子筛是沸石转轮吸附浓缩治理系统的核心部件，直接影响系统对VOCs治理效果。本文以中芯国际集成电路制造（上海）有限公司为调查主体，对其有机废气成分进行分析，从分子大小、极性、沸点和吸附质浓度等方面探讨了沸石分子筛的选型要求，研究沸石分子筛的吸附性能。为国内芯片制造业在沸石分子筛选型方面提供方案和建议。

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原标题：芯片制造业VOCs废气治理所采用的沸石分子筛选型建议